Cleanroom particle inspectie

De semi-conductor industrie kent hoge tot zeer strenge reinigingseisen en -normen, afhankelijk van de cleanroon grade (2 of 4). Met name de grote microchip tech giganten hebben deze strenge eisen vastgelegd in standaarden en normen. Zo heeft ASML bijvoorbeeld de zogenoemde GSA 07 norm opgesteld, waarin onder andere beschreven staat aan welke reinigingsgraad verpakkingen, transportdelen en andere supportdelen moeten voldoen. Met andere woorden; hoeveel organische deeltjes zich op een bepaald onderdeel of oppervlak mogen bevinden. Om deze zogenoemde particles snel en gemakkelijk te kunnen aantonen, maakt men gebruik van hoge intensiteit UV-A lampen ofwel ultraviolette inspectielampen met speciale (dichroïsche) filters geplaatst, dat alle andere golflengten blokkeert. Stof particles, vervuiling of organische deeltjes ‘weerkaatsen’ in dit UV-A spectrum. Elk type deeltje geeft een eigen kleur dat gemakkelijk in het strijklicht kan worden gedetecteerd.
De Looper NDO heeft jarenlange ervaring in het NDO met UV-A inspectielampen en in de loop der tijd een reeks speciale Particle Detection Lights in het assortiment opgenomen, vaak samen met de fabrikant ontwikkeld om te voldoen aan de hoogste standaarden, zoals de GSA 07 (9410 & 9510).